Mantis HEX Deposition System

Mantis HEX Deposition System

Das Mantis-HEX-System ist ein flexibles System, das das Aufbringen dünner Schichten im Hochvakuum für eine Vielzahl an Anwendungen erlaubt. Es ist modular konzipiert und kann schnell und leicht mit jeder beliebigen Kombination von E-Beam, Magnetron und thermischer Verdampfungsquelle konfiguriert werden. Die Vakuumkammer besteht aus einem sechseckigen Rahmen mit austauschbaren Panelen, die durch das Öffnen weniger Schrauben getauscht werden können. Dadurch kann jede gewünschte Systemkonfiguration erreicht werden.

Geräteverantwortlicher

Bitte kontaktieren Sie Stephan Puchegger wenn Sie weiterführende Informationen benötigen.

Leistungsdaten

Der Probenträger sitzt auf der Oberseite der Kammer und die Proben zeigen nach unten. Es kann ein 4"-Substrat oder mehrere kleinere Proben montiert werden. Der Probenhalter kann zudem durch einen Motor gedreht werden (2–20 rpm), um ein gleichmäßiges Bedampfen der Proben sicherzustellen. Um ein einfaches Wechseln der Proben zu ermöglichen, kann der Probenhalter entnommen und problemlos mit Hilfe der zwei angebrachten Griffe verkehrt auf einen Tisch gestellt werden.

Folgende Sputterquellen stehen zur Verfügung:

  • 1 2"-Magnetron (für 1–6 mm dicke nichtmagnetische Materialien oder bis zu 1 mm dicke magnetische Materialien)
  • 1 E-Beam-Verdampfer
  • 2 Verdampfer mit Widerstandsheizung, die sich sowohl für Metalle als auch für organische Materialien/Polymere eignen

Das System ist mit einer Quartz-Waage ausgestattet, mit der man die Abscheidungsrate und Menge kontrollieren kann.