Als Vertreter einer neuen Generation kostengünstiger spektroskopischer Ellipsometer zeichnet sich das SENpro durch einfache Bedienung, Messgeschwindigkeit und kombinierte Datenanalyse von ellipsometrischen Messungen bei einem oder mehreren Einfallswinkeln im Spektralbereich von 370 nm bis 1050 nm aus. Es misst Dicke, Brechungsindex und Extinktionskoeffizient von dünnen Einzelnenschichten und Mehrschichtsanordnungen. Reflexions- und Transmissionsmessungen können durchgeführt und mit ellipsometrischen Daten kombiniert werden.

Ein Kompensator wird verwendet, um Depolarisationseffekte, die durch ungleichmäßige Schichten verursacht werden, automatisch zu korrigieren und den ellipsometrischen Winkel im gesamten Bereich von 0° bis 360° zu bestimmen. Das SENpro wird mit der spektroskopischen Ellipsometer-Software SpectraRay/4 zur Systemsteuerung und Datenanalyse einschließlich Modellierung, Simulation, Anpassung und Präsentation geliefert. "Ready to use application files" machen die Bedienung auch für Anfänger sehr einfach.